Felületi környezetszennyezés-ellenőrzés (SHCC) az integrált áramkörök gyártásában A hibák eltávolítása a hozamnövelés kulcsa
Ez a dokumentum az IC-ipar fejlesztésének fontosságától és sürgősségétől az IC yeid-ostyák felületi környezetszennyeződés-ellenőrzésének kulcsfontosságú technológiájáig terjed. A közelmúltban az IRDS 2020 egyértelműen előterjesztette a hozamnövelés kulcsfontosságú magyarázatát, rámutatva, hogy A levegőben terjedő molekuláris szennyeződés (AMC) fontos tényező, amely véletlenszerű hibákat okoz az ostyákban, és ez a hatás az ostya vonalszélességének csökkenésével súlyosbodik. Ebben a cikkben a felületi környezetszennyezés elleni védekezés technológiai követelményeit 2021-től 2027-ig soroljuk fel a következőkkel: a különböző légszennyező anyagok megengedett szabályozási koncentrációja az egyes gyártási folyamatokban, ppTV-ben van kifejezve. A szigorú ellenőrzési szabvány miatt szükséges a vegyi szennyezés-ellenőrző szellőzőrendszer tervezése tiszta helyiségekben és a kapcsolódó ellenőrzött környezetekben, a levegő kiválasztása vegyi szűrő, beállítás és teljesítmény követelmények. Szigorúan kell végrehajtani a szabványnak megfelelően. Ezen túlmenően a levegő vegyszerszűrő, a szűrő tesztberendezésének és a vizsgálati eljárásnak a teljesítménymutatói az ASHRAE 145.2-2016 szabványban és egyéb tartalmakban kerülnek bemutatásra.
Vagy beteljesíthetjük a takarítással kapcsolatos álmainkat tisztatéri ablaktörlők ? Szerintem a válasz IGEN.
Előző :
A tisztatéri ablaktörlők típusaiKövetkező :
Egyedi méretek elfogadhatókKategóriák
Új blog
szerzői jog © 2024 Nanan Jiedao Electronic Material Co.,Ltd.. Minden jog fenntartva. Powered by
IPv6 hálózat támogatott